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188-0408-7166随着生产工艺的不断发展,微电子工业对环境及其配套工程的要求越来越严格,产品的成品率和可靠性主要取决于材料的纯度和制造环境的洁净度,对洁净技术的要求越来越高。洁净室是指空气悬浮粒子浓度、含菌浓度受控的房间。接下来ffu风机过滤机组厂家给大说说FFU送风方式在净化空调系统中的应用。如下:
传统的净化空调系统主要采用集中送风方式,空气处理设备和风机均集中设置在空调机房内,高效过滤器布置在系统的末端,并以集中的送回风管道把空气处理设备和洁净室相连接。
**大的缺点在于适应性较差,房间的洁净度需要调整,几乎是不可能的。净化空调系统出现了一种新的送风方式:风机过滤单元送风方式。该方式空气由FFU送到洁净室,从回风静压箱经两侧夹道回至送风静压箱,在回风夹道设干式表冷器处理洁净室内负荷。风处理机可集中设在空调机房内,处理后新风直接送入送风静压箱。送风方式适应能力较强,在某半导体制造项目净化空调系统采用了FFU送风方式。
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