沈阳FFU新风机

*种形式在小规模低等级要求的洁净室设计中被广应用，对于大面积高等级的洁净室则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

第二种形式的设计可以满足集成电路制造洁净室大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。

第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为*主要的洁净设计方案。

FFU循环系统的特点是：整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成，由FFU提供循环空气的动力，将新风、循环风混合后通过超高效过滤器送入工艺层和工艺辅助层，静压层相对于工艺层为负压。此外，还有生产辅助区为集成电路制造厂务设备区域，包括电力供应、气体和化学品供应、超纯水供应等。

风淋室材料：

1、框架：50*50喷塑钢方通，稳固、美观、不生锈、不产尘;

2、防静电垂帘：0.3mm厚网格(*)防静电效果好、透明度高、网格清晰、柔韧度好、不变形、不易老化;防尘除静电。

3、洁净室顶盖板采用准轧钢板静电喷塑，

4、内部采用净化室专用净化灯。不产尘。

5、风机滤网机组FFU：采用离心风机，具有长寿命、低噪声、免维护、震动小、可无级变速等特性，风机质量可靠，工作寿命长加上的风道设计，大大提高了风机的效率、降低了噪声。

风淋室不锈钢板风淋室的底盘由钢板折弯加工而成，并附上喷漆处理提高筋，成风淋室表层附概述附不锈钢板加工而成的。壳体选用良好的冷轧板制做，概述静电粉末喷涂或喷漆处理，美好雅致，内底板全不锈钢板材制作*磨损，易清洁。柜体主要材料及外形规格可按照客户规定订制。风淋室及风淋室道标准配备功能和特性:选用自动控制系统实际操作，对开门电子器件互锁，磁感应全自动风淋室，对开门时锁吹。2.冷轧钢板喷漆系列产品，采用多层酸洗钝化技术性，静电感应洁净喷塑处理。3.标准配置*质不锈钢摇杆，加厚型不锈钢板底版，不锈钢喷嘴。4.选用数显吹风机时长，风淋室时长0~99s可调式，并显示风淋室时长。5.新设计理念定制的送风淋室系统软件的风速可以达到25m/s~32m/s的*风力，确保进到洁净室的工作人员和物品做到充分除灰**的实际效果。